고객만족 및 가치창조를 제공하는
지니의 사업분야를 소개합니다

BUSINESS제품소개

진공 산소센서

반도체/디스플레이 진공장비의 산소 농도를 측정하는 장치

Display 순서

전광판 표시 - 총 3 단계로 구성
Vent 시
  • Pumping
    • 비 정상상태
  • 농도 표시, 경광등, 싸일렌
    • 비 정상상태
  • 농도표시 정상상태
Pumping 시
  • 농도표시
    • 정상상태
  • 농도 표시, 경광등, 싸일렌
    • 비 정상상태
  • Pumping
    • 비 정상상태

PRODUCTGBDR Sensor (Glass Broken Detect Leaser)

  • Application
    • 각 챔버의 Edge Break Glass와 Center Break Glass를 검출할 수 있습니다.

  • Features
    • 파손 감지 성능

    • 간편한 설치 및 설정

    • 적은 Fake 오류

    • 유지관리 개선

PRODUCTNW End Cap

  • A. CSD End Cap 일체형 디자인
  • B. C-Clamp 를 사용하지 않아 작업시간 단축 및 파트 관리 용이
  • C. O-ring의 Centering을 일체형으로 디자인
  • D. 손잡이를 달아 작업 시간 단축 및 작업 용이

PRODUCTi Clamp (ALUMINIUM 강화 CLAMP)

  • A. 동일 기능성 유지 대비(SUS) 가격 저렴
    • (원가 절감 기여도 상승)

  • B. 큰 무게 감소로 작업 편의성 및 안정성 증가
  • C. 임의 조작, 진동 등 외부 환경에 의한 풀림 완벽 차단
  • D. Clamp 부피 최소화
  • E. 체결 및 해체 작업 용이
  • F. 경도 우수
  • G. 내부식성 우수
  • H. 다양한 색상 적용으로 공정별 적용 가능

BUSINESS타사 Clamp 제품 비교

  • KF Clamp

    • 장점
      • 저렴한 가격

      • 가벼운 무게

      • 파티클 issue 적음

    • 단점
      • 풀림방지 미흡(외부요인에 의한 풀림 취약)

      • Clamp 부피로 인한 간섭 발생 가능성 높음

      • 충격에 취약

      • 체결점 뒤틀림 잦음

  • 고강도 Clamp

    • 장점
      • 3점식 Ball Plunger로 인한 풀림 방지 기능

      • 부식에 강한 SUS 재질의 Body

    • 단점
      • 사용환경 대비 오버 스펙

      • KF Clamp 대비 고가

      • SUS 재질로 인한 무거움

      • 풀림방지로 인한 SUS Particle 발생

      • Torque 값 20N 제한으로 토크 렌치 사용 한계(시징 현상Issue)

  • i Clamp

    • 강점
      • SUS 제품 대비 조임 Torque값 상승(40N 까지 사용 가능)

      • 무게 감소로 작업 편의성 및 안정성 증가

      • Clamp 부피 최소화

      • 경도 우수

      • 내부식성 우수

PRODUCTDCF BELLOWS (Dual Coating Flexible)

DCF (Dual Coating Flexible) Bellows 은 기존 자사의 LFD (Laminar Flow Dual) Bellows의 개선한 제품으로 핵심 개선 사항은 각형의 Liner Flow 를 원형으로 장착하여 GAS FLOW 개선 하였으며, 기존 각형의 Liner의 경우 불가능 했던 PDC Coating 을 제품 전체에 적용하여, 절연은 물론 Nonstick (이물질 비 접착 기능) 기능과 부식에 철저히 대응한 제품으로 성능을 대폭 향상 시켜 고객사에서 요구하는 최적의 제품입니다.

  • A. Exhaust Line 내부 원활한 Gas Flow로 유기물 침전에 의한 부식 방지
  • B. Bellows 체결 부의 부식으로 Leak 방지
  • C. Bellows 내 Liner에 의한 Powder 고착 없음
  • D. Bellows 휨 현상 발생 및 처짐으로 파손 방지
  • E. 기존 듀얼 Bellows에 비해 내부식성우수(SUS316Ti)
  • F. 열 손실에 강함 / 경쟁 제품 대비 가격 경쟁력 우수
  • G. PDC코팅 적용으로 절연 및 내/외부 부식 완벽한 대비

PRODUCTRepair

  • A. Servo Motor
  • B. RPSC
  • C. MKS MFC
  • D. MFC
  • E. Gate Valve
  • F. Throttle Valve
  • G. Match Box
  • H. Quick Connector

PRODUCT특허출원증